18일 포스텍에 따르면, 이 학교 신소재공학과 이규철 교수가 이끄는 반도체 나노막대 연구단은 최근 스위스 제네바에서 열린 '제36회 2008 제네바 국제발명·신기술 전시회'에 '나노 디바이스 및 이를 포함하는 트랜지스터의 제조 방법' 특허를 출품해 금상을 받았다.
이 특허는 실리콘 기판에 나노벽, 나노튜브의 형상과 크기를 자유자재로 조절해 원하는 위치에 제조하는 기술과 이를 이용한 다양한 나노 소자의 제조방법에 관한 것이다. 촉매나 깎아내는 방식의 광식각 공정을 사용하지 않아 나노 구조물의 오염이나 표면 손상이 전혀 없는 반도체 나노소재 및 소자를 대량으로 생산하는 기술이다.
이 대회에 참석한 러시아 과학기술부는 이 교수팀이 발표한 나노 기술의 독창성과 우수성을 인정해 대회장에서 특별상을 수여했다. 또, 이 기술의 발명자 가운데 한 명인 포스텍 박사과정 홍영준(29)씨는 뛰어난 연구 성과를 인정받아 바우만(Bauman) 모스크바 국립공대 학장의 개인특별상을 받았다.
한편, 이 연구결과는 신소재 분야의 세계적 학술지 '어드밴스드 머티리얼스(Advanced Materials)' 지에 출판될 예정이다.
이성훈 기자 hoonls@dailiang.co.kr
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